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本公开内容涉及双轴光学传感器系统，当围绕旋转轴旋转例如半导体晶圆之类的对象时，可将双轴光学传感器系统用于评估该对象的圆周的厚度和/或高度变化上的变动。此类传感器系统可以成对光源和相应的光检测器为特征。可将每一光源配置成引导光沿着相应方向并朝...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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