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本发明公开了一种晶圆级高功率芯片测试分选机,涉及半导体设备技术领域,其中,晶圆级高功率芯片测试分选机包括:机架、安装于机架的上料单元、测试单元、下料单元;测试单元包括测试座模块、能够驱动测试座模块移动的第一驱动组件、多个测试模块,测试座模块...该专利属于南通市华芯智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通市华芯智能装备有限公司授权不得商用。
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