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本发明涉及等离子体设备的技术领域，具体涉及一种射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置，其包括射频放电腔体，射频放电腔体沿x轴方向的两端分别设有射频放电系统，每组射频放电系统与射频放电腔体通过非屏蔽隔板隔开，射频放电腔体沿z轴方向的其中一端连...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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