一种射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及等离子体设备的技术领域，具体涉及一种射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置，其包括射频放电腔体，射频放电腔体沿x轴方向的两端分别设有射频放电系统，每组射频放电系统与射频放电腔体通过非屏蔽隔板隔开，射频放电腔体沿z轴方向的其中一端连通有同轴电极放电腔体，同轴电极放电腔体内设置有同轴电极放电系统，射频放电腔体和同轴电极放电腔体共同围成真空封闭腔体。本发明专利技术能够单一的放电模式难以实现等离子体的体态调控的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及等离子体设备的，具体涉及一种射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置。

技术介绍

1、尘埃等离子体是一类由离子、电子、中性气体和固体尘埃颗粒共同组成的等离子体。尘埃颗粒可在等离子体中捕获电子带上负电，也可通过电子枪注入电子使其带上负电，进而参与等离子体的集体行为。在尘埃等离子体中，由于尘埃颗粒受到等离子体以及电磁力的作用，显著地改变了等离子体的许多性质，从而产生很多新的物理过程和现象，如孤立波、尘埃激波、尘埃空洞等。

2、基于尘埃等离子体的产生原理，目前通常采用单一放电模式的放电系统与真空腔体组合装置产生尘埃等离子体，然而单一的放电模式自由度小，难以在产生尘埃等离子体的基础上进一步实现等离子体的体态（密度、空间分布）调控。

技术实现思路

1、本专利技术旨在改善等离子体发生装置中单一的放电模式难以实现等离子体的体态调控的问题。

2、为解决上述问题，本专利技术提供一种射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置，包括射频放电腔体，所述射频放电腔体沿x轴方向的两端分别设有射频放电系统，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置，其特征在于，包括射频放电腔体(1)，所述射频放电腔体(1)沿x轴方向的两端分别设有射频放电系统(2)，每组所述射频放电系统(2)与所述射频放电腔体(1)通过非屏蔽隔板(11)隔开，所述射频放电腔体(1)沿z轴方向的其中一端连通有同轴电极放电腔体(3)，所述同轴电极放电腔体(3)内设置有同轴电极放电系统(5)，所述射频放电腔体(1)和所述同轴电极放电腔体(3)共同构成真空封闭腔体。

2.根据权利要求1所述的射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置，其特征在于，所述射频放电腔体(1)两端的所述射频放电系统(2)对称分布，每组所述射频放...

【技术特征摘要】

1.一种射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置，其特征在于，包括射频放电腔体(1)，所述射频放电腔体(1)沿x轴方向的两端分别设有射频放电系统(2)，每组所述射频放电系统(2)与所述射频放电腔体(1)通过非屏蔽隔板(11)隔开，所述射频放电腔体(1)沿z轴方向的其中一端连通有同轴电极放电腔体(3)，所述同轴电极放电腔体(3)内设置有同轴电极放电系统(5)，所述射频放电腔体(1)和所述同轴电极放电腔体(3)共同构成真空封闭腔体。

2.根据权利要求1所述的射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置，其特征在于，所述射频放电腔体(1)两端的所述射频放电系统(2)对称分布，每组所述射频放电系统(2)包括相互连接的射频线圈(21)和射频匹配网络(22)，每个所述射频线圈(21)沿垂直于x轴方向呈平面螺旋状布设。

3.根据权利要求1所述的射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置，其特征在于，所述同轴电极放电系统(5)包括同轴电极组件(51)和尘埃盒(52)，所述尘埃盒(52)设置于所述同轴电极组件(51)远离所述射频放电腔体(1)的一侧，用于向所述同轴电极放电腔体(3)和所述射频放电腔体(1)注入尘埃颗粒。

4.根据权利要求3所述的射频耦合同轴电极放电的等离子体发生装置，其特征在于，所述同轴电极组件(51)包括环形阴极(511)和环形阳极(512)，所述环形阳极(512)同轴套设于所述环形阴极(511)外侧，所述同轴电极放电腔体(3)外具有金属屏蔽罩(7)，所述环形阳极(512)与外接电源连接，所述环...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁承勋，王留青，姚静锋，周晨，王莹，周忠祥，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：