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本发明涉及前体及相关方法。前体包括环硅胺化合物。所述环硅胺化合物为氨基硅烷与卤代硅烷的反应产物。用于形成所述前体的方法包括获得氨基硅烷，获得卤代硅烷，和使所述氨基硅烷与所述卤代硅烷接触以获得所述前体。在其它实施例中也提供一种使用所述前体形成...
该专利属于恩特格里斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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