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本发明提供了一种纳米结构散射体，属于显微成像技术领域，包括散射本体，工作波长为紫外和/或深紫外波段，在X偏振光瞳照射下在yz面内具有大于NA0.9的散射光线，在xz面内具有大于NA0.8的散射光线。散射本体为铬。本申请的纳米结构散射体满足在...
该专利属于苏州矽行半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽行半导体技术有限公司授权不得商用。

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