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一种集成LFER和HEMT的梳状p-GaN栅半导体器件制造技术
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下载一种集成LFER和HEMT的梳状p-GaN栅半导体器件的技术资料
文档序号:46367069
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本发明公开一种集成LFER和HEMT的梳状p‑GaN栅半导体器件,涉及半导体技术,针对现有技术中导通电阻和高耐压矛盾的问题提出本方案。本发明中一种集成LFER和HEMT的梳状p‑GaN栅半导体器件,包括集成在衬底一侧的LFER和集成在衬底另...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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