下载半导体结构及其制备方法、存储器、存储器系统的技术资料

文档序号:46366950

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开实施例公开了一种半导体结构及其制备方法、存储器、存储器系统。该半导体结构包括:半导体层、堆叠结构和沟道结构。堆叠结构设置于半导体层的一侧,包括交替层叠的绝缘层和栅极层。沟道结构沿堆叠结构的堆叠方向至少部分贯穿堆叠结构,包括沟道层和位于...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。