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可通过形成加衬有P型内衬并用被动填充材料快速填充的狭窄沟槽来形成具有增加的制造产量的超结元件。并非蚀刻具有足够大深宽比的沟槽以可靠地用经掺杂的P型材料来填充，而是可减小所述沟槽的深宽比以缩减所述元件的大小。此较小沟槽可接着加衬有相对薄（例如...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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