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本申请题为“用于在带电粒子束设备中对晶片进行热调节的系统和方法”。公开了一种改进的粒子束检查设备，并且更具体地公开了一种包括用于预调节晶片的温度的热调节站的粒子束检查设备。带电粒子束设备可以扫描晶片以测量晶片上的结构的一个或多个特性并且分析...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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