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一种光子装置结构及光子半导体装置，光子装置结构包括具有第一顶侧氧化物层的基板及位于第一顶侧氧化物层上的硅层。光子装置结构还包括位于硅层中的多个肋状波导组件。肋状波导组件的第一肋状波导组件包括具有第一接触孔深度的第一接触孔，且肋状波导组件的第...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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