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半导体器件及其制备方法、三维存储器和存储系统技术方案
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下载半导体器件及其制备方法、三维存储器和存储系统的技术资料
文档序号:46326809
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本申请公开了一种半导体器件及其制备方法、三维存储器和存储系统。该半导体器件包括:半导体层;堆叠结构,沿第一方向位于半导体层的一侧;沟道结构,沿第一方向贯穿堆叠结构;以及顶部选择栅极切线,沿第一方向穿过部分堆叠结构和部分沟道结构并沿第二方向延...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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