温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供制造及整修具有密封件的部件的方法的实施方式。一种制造具有密封件的部件的方法包括：将第一层直接沉积到主体的密封表面上，其中所述第一层包括3D表面图案；以及将第二层沉积到所述第一层上，其中所述第二层包括密封材料。一种整修具有密封件的部件的方...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。