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本发明公开了一种微结构薄膜脱模与高精度转移方法，属于柔性光学器件加工技术领域，包括：将可折叠的转移工装的转移工装柔性层的边缘凸台与复制完成的微结构薄膜的上表面进行粘接；沿边缘翻折转移工装，微结构薄膜在力的作用下脱离微结构模具；将揭膜完成的转...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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