【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于柔性光学器件加工，具体涉及一种微结构薄膜脱模与高精度转移方法。
技术介绍
1、柔性光学器件凭借轻量化、可批量复制等优势，有望在未来取代传统硬质光学器件应用在激光通信、空间成像等领域。然而，受限于薄膜的柔性特点，现有技术中，人工手动剥离微结构薄膜，然后再对薄膜进行支撑的方法，存在微结构宏观位置精度无法保证的问题；利用薄膜框架对微结构薄膜直接进行粘接分离的方法中，存在薄膜与基板界面附着力过大导致的分离力过大引起塑性变形问题。可见，现有的脱模技术无法保证薄膜的横向尺寸精度，对于表面具有微观结构的微结构薄膜而言，这一缺点是致命的。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术采用如下的技术方案：
2、一种微结构薄膜脱模与高精度转移方法，包括：
3、步骤1，微结构薄膜与转移工装进行粘接；将可折叠的转移工装的转移工装柔性层的边缘凸台与复制完成的微结构薄膜的上表面进行粘接；
4、步骤2，逐步揭膜；沿边缘翻折转移工装，微结构薄膜在力的作用下脱离微结构模
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【技术保护点】
1.一种微结构薄膜脱模与高精度转移方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微结构薄膜脱模与高精度转移方法，其特征在于，步骤1中，所述转移工装由转移工装刚性层和转移工装柔性层层叠构成，转移工装柔性层附着于转移工装刚性层的表面，通过翻折实现纵向的弯曲自由度，同时转移工装保持横向的尺寸刚性。
3.根据权利要求2所述的微结构薄膜脱模与高精度转移方法，其特征在于，所述转移工装刚性层由金属或陶瓷块体材料制成。
4.根据权利要求3所述的微结构薄膜脱模与高精度转移方法，其特征在于，通过将一个圆盘的上表面掏出一个圆形凹槽，再利用V形刀具将圆...
【技术特征摘要】
1.一种微结构薄膜脱模与高精度转移方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微结构薄膜脱模与高精度转移方法，其特征在于，步骤1中，所述转移工装由转移工装刚性层和转移工装柔性层层叠构成，转移工装柔性层附着于转移工装刚性层的表面，通过翻折实现纵向的弯曲自由度，同时转移工装保持横向的尺寸刚性。
3.根据权利要求2所述的微结构薄膜脱模与高精度转移方法，其特征在于，所述转移工装刚性层由金属或陶瓷块体材料制成。
4.根据权利要求3所述的微结构薄膜脱模与高精度转移方法，其特征在于，通过将一个圆盘的上表面掏出一个圆形凹槽，再利用v形刀具将圆盘切割为若干条状制成所述转移工装刚性层；条状较宽的上表面边缘形成凸台，在条状较窄的一下表面形成多条v形缝隙。
5.根据权利要求4所述的微结构薄膜脱模与高精度转移方法，其特征在于，转移工装柔性层为柔性超薄玻璃或柔性聚合物薄膜；
6.根据权利要求5所述的微结构薄膜脱模与高精度转移方法，其特征在于，各步骤中，所述微结构薄膜是柔性薄膜材料，由液态浇注在微...
【专利技术属性】
技术研发人员：高国涵，杜俊峰，边疆，雷柏平，毛丹波，殷家家，刘鑫，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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