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本发明提供能够在形状模拟中确定用于使基板的形状接近理想形状的贡献度高的参数的计算机程序、分析方法以及分析装置。计算机程序使计算机执行下述处理：对于使用多个参数来模拟基板处理的第一模型，调整参数，以使得通过模拟而得到的基板处理后的基板的形状成...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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