下载一种高纯碳化硅颗粒超声清洗设备及方法的技术资料

文档序号:46098851

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本发明公开了种高纯碳化硅颗粒超声清洗设备及方法,包括清洗槽,所述清洗槽内水平设置滚筒,所述清洗槽的底部设置超声波发生器;所述滚筒内放置待清洗碳化硅颗粒,且所述滚筒的侧面和底面均匀开设有网孔,所述网孔的孔径小于碳化硅颗粒的粒径;所述超声波发生...
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