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本发明涉及半导体技术领域，提供一种静电吸盘及静电吸盘控制方法，静电吸盘包括包括吸盘主体及介电层，吸盘主体连接介电层，吸盘主体的一端设置第一区域、第二区域、第三区域及第四区域，第二区域环绕第一区域的外侧缘，第三区域环绕第二区域的外侧缘，第四区...
该专利属于华通芯电（南昌）电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华通芯电（南昌）电子科技有限公司授权不得商用。

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