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本技术公开了一种检测装置,检测装置包括:籽晶轴和取样单元。检测装置用于单晶炉内金属污染的测量,单晶炉包括炉体,炉体内的上端具有副室,籽晶轴沿上下方向延伸且可相对副室在上下方向上移动,且籽晶轴适于围绕副室的中心轴线旋转,籽晶轴内穿设有沿上下方...该专利属于中环领先(徐州)半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中环领先(徐州)半导体材料有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种检测装置,检测装置包括:籽晶轴和取样单元。检测装置用于单晶炉内金属污染的测量,单晶炉包括炉体,炉体内的上端具有副室,籽晶轴沿上下方向延伸且可相对副室在上下方向上移动,且籽晶轴适于围绕副室的中心轴线旋转,籽晶轴内穿设有沿上下方...