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本发明公开了一种晶圆盒内部晶圆信息检测方法及系统，涉及晶圆检测技术领域；获取晶圆盒参考点H0后，依据晶圆盒层数F、层距D以及预测误差得到晶圆盒每层位置区间下限N以及区间上限P；通过晶圆扫描厚度与晶圆标准厚度得到扫描误差，根据扫描误差确定晶圆...
该专利属于大连皓宇电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连皓宇电子科技有限公司授权不得商用。

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