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一种用于管芯放置的设备，包括：第一载台，所述第一载台包括多个凹部，所述多个凹部被配置成接纳多个施主管芯；第二载台，所述第二载台包括用于一个或更多个目标的支撑件；和测量系统，所述测量系统功能性地联接到所述第一载台，并且被配置成：获得所述多个施...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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