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本发明涉及一种多喷嘴周期性HVPE喷淋头装置及其工作方法，其中多喷嘴周期性HVPE喷淋头装置包括自上而下依次设置在机体上的喷淋头机构和石墨托盘机构，所述的喷淋头机构包括相对机体固定的且在360°圆周方向上均匀分布的多个喷淋头，所述的石墨托盘...
该专利属于福州大学所有，仅供学习研究参考，未经过福州大学授权不得商用。

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