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本发明提供了一种大口径收集镜的梯度Mo/Si多层膜的设计方法、设备及介质，其中，方法包括：由极紫外周期反射梯度Mo/Si多层膜、保护帽层和隔离层构成梯度Mo/Si多层膜，其中，在极紫外周期反射梯度多层膜的顶部覆盖保护帽层、在Mo/Si层之间...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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