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公开的示例涉及在钴氮化物层中形成金属间氮化物相，该金属间氮化物相抑制钴氮化物层中的钴迁移率。一示例提供一种用于处理衬底的方法。方法包括将气相含金属前体引入处理室中，以将处理室中的衬底上的钴氮化物层暴露于气相含金属前体，从而在钴氮化物层的至少...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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