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本文中呈现在高处理量下基于组合光谱反射测量(SR)及图案辨识(PR)的半导体结构的图像测量的方法及系统。实现以经改进条纹对比度、分辨率及光谱保真度测量遍及裸片的大间距目标及厚目标。基于PR的成像子系统产生从可见光到短红外波长的范围内的照明光...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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