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本发明提供一种适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置及使用方法,所述适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置包括主体和依次设置在主体内部的可伸缩柱体、阻环、导杆、密封装置和弹性部件;所述主体在可伸缩柱体远离阻环的一侧设置有孔道;所述孔道与...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置及使用方法,所述适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置包括主体和依次设置在主体内部的可伸缩柱体、阻环、导杆、密封装置和弹性部件;所述主体在可伸缩柱体远离阻环的一侧设置有孔道;所述孔道与...