【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体靶材，尤其涉及一种适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置及使用方法。
技术介绍
1、靶材背板上的水道完成水压检测时，需要关闭进水阀，打开出水阀和抽液泵，排出水分，再用吹水装置吹净水道里面的水分。
2、cn118730745a公开了一种水压检测装置及背板水压测试方法，该方法测试时，将测试液的输液管与进液口连接，利用排液管将出液口与抽液泵等连接。然后，控制模块根据检测要求控制输液管上的阀门打开，测试液经由输液管和进液口进入测试腔，以向测试腔内通入一定量的测试液；当压力测试件测定测试腔内的压力值达到预设压力值时，控制模块控制输液管上的阀门关闭，以停止向测试腔内通入测试液；测试完成后，控制模块控制抽液泵开启，以将测试腔内的测试液抽出。其中，预设压力值为待检测背板在使用时需要承受的压力值。但上述用于靶材背板上水道的水压检测设备配件较多，操作复杂。
3、cn222336629u公开了一种自来水管用水压检测装置；包括水压检测装置本体、底座、检测模块、连接部和两组固定组件，检测模块设置于底座上，连接部与检测...
【技术保护点】
1.一种适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置，其特征在于，所述适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置包括主体和依次设置在主体内部的可伸缩柱体、阻环、导杆、密封装置和弹性部件；所述主体在可伸缩柱体远离阻环的一侧设置有孔道；所述孔道与水压装置接入口连接；所述主体垂直于导杆的一侧设置有靶材接入口，另一侧设置有空气压缩装置接入口。
2.根据权利要求1所述的适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置，其特征在于，所述导杆的数量为至少4根；
3.根据权利要求1或2所述的适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置，其特征在于，所述主体内部对称设置有第一限位
【技术特征摘要】
1.一种适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置，其特征在于，所述适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置包括主体和依次设置在主体内部的可伸缩柱体、阻环、导杆、密封装置和弹性部件；所述主体在可伸缩柱体远离阻环的一侧设置有孔道；所述孔道与水压装置接入口连接；所述主体垂直于导杆的一侧设置有靶材接入口，另一侧设置有空气压缩装置接入口。
2.根据权利要求1所述的适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置，其特征在于，所述导杆的数量为至少4根；
3.根据权利要求1或2所述的适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置，其特征在于，所述主体内部对称设置有第一限位块和第二限位块；
4.根据权利要求1～3任一项所述的适用于靶材背板水道检测的水压气动转换装置，其特征在于，所述可伸缩柱体包括空心的不锈钢柱体。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：边逸军，姚力军，杨国雨，周友平，陈勇军，陆彤，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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