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一种用于投射曝光装置（1）的光学系统（100），包括：光学元件(108)；以及安装座（116），该安装座（116）承载该光学元件（108）；其中该安装座（116）包括外环（118），至少一部分的该光学元件（108）容纳在该外环（118）中；...
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