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本发明提供基板处理装置及方法，在相对于基板移动的狭缝喷嘴的前方侧配置有喷嘴防护件的基板处理装置中，能够采取对策诸如对在喷嘴防护件上附着有异物的状态下用狭缝喷嘴向基板涂敷处理液的情况防患于未然。在本发明的基板处理装置及基板处理方法中，一边在使...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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