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本发明提供一种谱学测量数据中多峰的识别方法、厚度测量方法及设备,涉及数据处理技术领域。该方法包括:获取目标谱学测量数据;对目标谱学测量数据进行差分处理,得到差分谱学测量数据;基于差分谱学测量数据按照多峰导数方程进行拟合,得到第一拟合结果;多...该专利属于北京特思迪半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京特思迪半导体设备有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种谱学测量数据中多峰的识别方法、厚度测量方法及设备,涉及数据处理技术领域。该方法包括:获取目标谱学测量数据;对目标谱学测量数据进行差分处理,得到差分谱学测量数据;基于差分谱学测量数据按照多峰导数方程进行拟合,得到第一拟合结果;多...