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本发明公开了一种具有高温和气体均匀性的立式双温区CVD设备，包括：石英管，石英管为立式，其内设置基片台，所述基片台将石英管分为上下两个温区，每个温区通过电磁感应加热装置进行加热；节流阀，所述节流阀设置流量传感器，用于控制气体的流量，实现气流...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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