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声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器制造方法及图纸
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文档序号:45869894
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一种声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器,包括:位于压电层表面的第一叉指电极结构,第一叉指电极结构包括若干第一电极条和若干第二电极条,相邻的第一电极条和第二电极条之间在第一方向上的具有第一间隔;位于压电层表面的第一反射栅和第二反射栅,第一反...
该专利属于常州承芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州承芯半导体有限公司授权不得商用。
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