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本公开提供了一种装置，该装置包括：至少一个用于保持衬底的衬底台，该衬底台被设置有用于静电夹持所述衬底的静电夹具；以及至少一个反射表面，用于在远离衬底前侧的方向上反射带电粒子。一种使用方法，包括以下步骤：将至少一个衬底台静电夹持在衬底台上；释...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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