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一种衬底处理装置包括：处理腔室，包括处理空间；衬底支撑件，在处理腔室中容纳衬底并支撑衬底；流体供应管，布置在处理腔室的下部；以及流体供应设备，通过流体供应管将处理流体供应到处理空间。处理腔室包括均在限定处理空间的上表面中的台阶部分和圆形部分...
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