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本发明提供一种可在基板的主面上更均一地使药液开始作用的技术。本发明的基板处理方法包含步骤(S1)(保持工序)、步骤(S3)(预湿工序)、及步骤(S4)(药液处理工序)。在步骤(S1)中，保持在主面具有复数个裸片的基板。在步骤(S3)中，以冲...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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