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本申请涉及一种晶圆老化测试设备、系统及测试方法，包括至少一个晶圆老化测试装置，任一所述晶圆老化测试装置包括探针板组件、热沉组件、对位机构和视觉定位机构；所述热沉组件与所述对位机构连接，用于承载晶圆；所述对位机构用于调整所述热沉组件的位置以实...
该专利属于苏州联讯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州联讯仪器股份有限公司授权不得商用。

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