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集成电路装置制造方法及图纸
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文档序号:45810244
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集成电路装置包括:鳍型有源区域,在基底上在第一水平方向上延伸;纳米片堆叠件,包括在鳍型有源区域上的多个纳米片;栅极线,在鳍型有源区域上在所述多个纳米片中的每个周围延伸,并且在与第一水平方向交叉的第二水平方向上延伸;以及竖直结构,在第二水平方...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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