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本发明公开了一种磁控溅射镀膜设备、旋转阴极及在线可调磁棒，属于磁控溅射镀膜领域，磁铁组件沿支撑梁的长度方向布置且可移动地与支撑梁连接，驱动组件与支撑梁连接用于调节磁铁组件与支撑梁表面之间的距离。在远离磁棒驱动端的支撑端内设置与支撑法兰配合的...
该专利属于中科纳微真空科技（合肥）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科纳微真空科技（合肥）有限公司授权不得商用。

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