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本发明提供一种砷化镓单晶衬底，其具有圆形状的主表面，上述主表面的位错密度的平均值为5cm<supgt;‑2</supgt;以上且100cm<supgt;‑2</supgt;以下，在上述主表面上通过将一边为2mm的正方...
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