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本发明提供了一种半导体器件芯片及其制备方法,所述方法包括:在衬底上依次沉积N‑DBR层、有源层、P‑DBR层,在外围沉积保护层,进行干刻蚀,直至穿过保护层、P‑DBR层、有源层并深入N‑DBR层中,在P‑DBR层上蒸镀P型电极,在衬底的一侧...该专利属于华通芯电(南昌)电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华通芯电(南昌)电子科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种半导体器件芯片及其制备方法,所述方法包括:在衬底上依次沉积N‑DBR层、有源层、P‑DBR层,在外围沉积保护层,进行干刻蚀,直至穿过保护层、P‑DBR层、有源层并深入N‑DBR层中,在P‑DBR层上蒸镀P型电极,在衬底的一侧...