下载一种固晶设备和固晶方法的技术资料

文档序号:45570998

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本发明涉及半导体固晶设备技术领域,特别涉及一种固晶设备和固晶方法。本发明提供的固晶设备,轨道模块包括第一轨道和第二轨道,第二轨道沿上料模块和下料模块连线方向设置,第一轨道设置于上料模块和第二轨道之间,并沿第一轨道宽度方向向下延伸;点胶模块包...
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