下载半导体装置及半导体装置的制造方法的技术资料

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本申请涉及半导体装置及半导体装置的制造方法。半导体装置可以包括:外围电路,其位于基板上;层叠结构,其在非核心区域中位于外围电路上方并且包括交替地且重复地层叠的绝缘层和虚设层;沟道图案,其位于层叠结构上;晶体管,其位于沟道图案上;接触结构,其...
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