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本技术提供一种压电阀，包括包括支点结构的阀体以及在阀叶片的第一间隙维持垫和第二间隙维持垫上与阀体耦合的阀叶片。阀体的一层或多层中的多个薄膜压应力将阀叶片对阀体偏移成正常关闭结构。第一间隙维持垫以及第二间隙维持垫位于支点结构的相对两侧。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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