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本发明涉及一种极紫外光超表面透镜的设计与制备方法，属于超表面技术领域，解决了现有技术中针对极紫外波段折射式透镜吸收严重以及反射式透镜设计复杂等问题。包括如下步骤：根据结构单元的光学响应，建立相位调制范围在0至2π的结构单元库，其中，所述结构...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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