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从光刻装置的夹具清除污染颗粒被描述。已使用的夹具具有被污染颗粒污染的突节顶部，该污染颗粒需要在返回服务之前被清除。当前，为了完全清洁这样的夹具的突节顶部，覆盖突节顶部的硬且导电的涂层被剥离并且新鲜的涂层被施加。这需要将夹具从卡盘断开连接，剥...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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