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本发明提供了一种钽铝合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括：将钽粉与铝粉混粉后的混合粉末，依次进行冷等静压、真空脱气、热等静压、机加工，得到钽铝合金溅射靶材，本发明通过先进行冷等静压，再进行热等静压，可以提高钽铝生坯致密度，避免真空脱气过...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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