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本申请提供一种栅槽结构、晶体管及其制造方法，栅槽结构包括依次叠加设置的衬底、外延层和叠加介质层；叠加介质层上开设有栅槽，栅槽远离衬底一侧的宽度大于靠近衬底一侧的宽度，且栅槽贯穿整个叠加介质层；叠加介质层包括叠加设置的至少两个薄膜层，且各薄膜...
该专利属于烟台睿创微纳技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烟台睿创微纳技术股份有限公司授权不得商用。

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