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基片检查方法使用拍摄作为检查对象的基片而得到的检查图像来进行基片的检查，包括：根据多个正常图像和多个正常差分图像生成颜色空间中的多个成分图像，基于关于多个成分图像中所含的各像素的成分值的分散的分散信息，生成关于多个正常图像的每一个的预处理图...
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