【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及基片检查方法、基片检查装置和基片检查程序。
技术介绍
1、专利文献1中公开了一种装置，其基于对基片进行拍摄而得到的作为检查对象的拍摄图像，对在基片上产生的缺陷进行分类。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2019-124591号公报。
技术实现思路
1、专利技术要解决的技术问题
2、本公开提供一种有利于高精度地检测基片表面的异常的技术。
3、解决问题的技术手段
4、本公开的一个方式的基片检查方法使用拍摄作为检查对象的基片而得到的检查图像，来进行所述作为检查对象的基片的检查，其中，包括：生成关于正常图像的预处理图像的步骤，其中，对于拍摄多个正常基片而得到的多个正常图像，生成作为所述多个正常图像的每一个与根据所述多个正常图像生成的平均图像之间的差分的多个正常差分图像，根据所述多个正常图像和所述多个正常差分图像生成颜色空间中的多个成分图像，基于关于所述多个成分图像中所含的各像素的成分值的分散的...
【技术保护点】
1.一种基片检查方法，使用拍摄作为检查对象的基片而得到的检查图像，来进行所述作为检查对象的基片的检查，其中，包括：
2.如权利要求1所述的基片检查方法，其中，
3.如权利要求1所述的基片检查方法，其中，
4.如权利要求1所述的基片检查方法，其中，
5.如权利要求1所述的基片检查方法，其中，
6.如权利要求1所述的基片检查方法，其中，
7.如权利要求1所述的基片检查方法，其中，
8.如权利要求1所述的基片检查方法，其中，
9.如权利要求1所述的基片检查方法，其中，
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