下载半导体器件的技术资料

文档序号:45438175

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本公开涉及半导体器件。所述半导体器件包括:基底;第一导电类型外延层,在基底的第一表面上并且包括第一沟槽;栅电极,在第一沟槽内部;栅极绝缘层,在第一导电类型外延层与栅电极之间;源电极,在第一导电类型外延层上;第二导电类型掺杂阱区和第一导电类型...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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